【里程碑！工信部推广国产DUV光刻机：套刻≤8nm】

近日，工信部发布《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024年版）》。工信微报介绍称，重大技术装备是国之重器，事关综合国力和国家安全。中国首台（套）重大技术装备是指国内实现重大技术突破、拥有知识产权、尚未取得明显市场业绩的装备产品，包括整机设备、核心系统和关键零部件等。而就在电子专用装备目录下，集成电路设备方面出现了氟化氩光刻机和氟化氪光刻机，这两者均属于DUV光刻机。

国产光刻机产业链梳理如下

（一）整机

（1）张江高科：持股上海微电子10.779%的股份；

（2）上海电气：母公司为上海微电子第一大股东；

（3）东方明珠：通过间接持股上海微电子；

（4）奥普光电：长春光机所为公司实际控制人，长春光机所生产光刻机。

（二）光源

（1）波长光电：光刻机平行光源系统；

（2）茂莱光学：精密光学器件已应用于国产光刻机；

（3）福晶科技：全球最大LBO、BBO非线性光学晶体生产商。

（三）光学器件

（1）腾景科技：多波段合分束器已进入微电子供应链；

（2）苏大维格：向上海微电子提供光刻机用的定位光栅产品；

（3）炬光科技：提供光刻机曝光系统里面核心元器件光场匀化器；

（4）京华激光：控股国外公司在光刻机微结构光学方面实力较强；

（5）晶方科技：下属荷兰ANTERYON公司服务国际领先光刻机厂商。

（四）洁净设备

（1）蓝英装备：精密清洗设备面向高端芯片制造行业企业客户；

（2）美埃科技：提供最高洁净等级标准的设备，国外企业供应商白名单；

（3）国林科技：产品用于CVD、ALD、晶圆清洗、污染物及光刻胶去除等工艺中。

（五）温控

（1）海立股份：微电子装备集团的系统级合作商

（2）同飞股份：液体恒温设备应用于光刻机等领域的温度控制

（六）物镜

赛微电子：光刻机厂商的MEMS透镜部件供应商。

（七）控制器

电科数字：子公司可供货光刻机控制器。

（八）结构件

金力泰：超微弧氧化技术可应用于光刻机设备零部件的表面处理；子公司是上海微电子供应商。

（九）维修服务

东方嘉盛：提供光刻机寄售维修服务。